一、主要功能

 

CF4氣體分析儀能夠?qū)崟r、準(zhǔn)確地測量環(huán)境中CF4氣體的濃度。它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)安全等領(lǐng)域，對于確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性、保護環(huán)境和保障人員安全具有重要意義。

 

二、工作原理

 

CF4氣體分析儀主要基于光聲光譜技術(shù)進行檢測。該技術(shù)利用量子級聯(lián)激光（QCL）光源發(fā)出特定波長的紅外光，照射到含有CF4氣體的樣品池中。CF4氣體吸收光能后會產(chǎn)生聲信號，該聲信號被超靈敏懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)捕捉并轉(zhuǎn)化為電信號。通過測量電信號的大小，可以計算出CF4氣體的濃度。

 

三、技術(shù)特點

 

高靈敏度：CF4氣體分析儀能夠探測到極低濃度的CF4氣體，檢測下限通常低于0.1ppb（partsperbillion，十億分之一）。

 

高穩(wěn)定性：由于采用了先進的光聲光譜技術(shù)和超靈敏懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)，CF4氣體分析儀具有高穩(wěn)定性，校準(zhǔn)周期長達(dá)幾個月甚至幾年。

 

快速響應(yīng)：CF4氣體分析儀的響應(yīng)時間通常很短，可以根據(jù)需要設(shè)置從幾秒到幾分鐘不等，以便及時捕捉到CF4氣體濃度的突然變化。

 

無耗材：CF4氣體分析儀在檢測過程中不需要消耗品或濕化學(xué)試劑，降低了運行成本。

 

易于操作：CF4氣體分析儀通常配備有直觀的用戶界面和顯示屏，可以數(shù)字式或圖線式顯示檢測結(jié)果，方便用戶進行監(jiān)測和分析。